第五无为法者，略有六种：一、虚空无为，二、择灭无为，三、非择灭无为，四、不动灭无为，五、想受灭无为，六、真如无为。上之四种，色心假实，皆是生灭之法，名有为性。无此有为，假名无为，非更别有一个无为之法，在于有为法外，而与有为相对待也。故云但是四所显示。然为既无矣，尚不名一，云何有六？正由是四所显，故不妨随于能显，说有六别：
一、虚空无为 虚空无为者，非色非心，离诸障碍，无可造作，故名无为。
二、择灭无为 择灭无为者，正慧简择，永灭烦恼，所显真理，本不生灭，故名无为。
三、非择灭无为 非择灭无为者，复有二种：
一者、不由择力，本性清净，故名无为。
二者、有为缘阙，暂尔不生，虽非永灭，缘阙所显，故名无为。
四、不动灭无为 不动灭无为者，入第四禅，双忘苦乐，舍念清净，三灾不到，亦名无为。
五、想受灭无为 想受灭无为者，入灭尽定，想受不行，似涅槃故，亦名无为。
六、真如无为 真如无为者，非妄名真，非倒名如，即是色心假实诸法之性。诸法如波，此性如水；诸法如绳，此性如麻；诸法非此则无自体，此离诸法亦无自相，故与诸法不一不异。惟有远离遍计所执，了达我法二空，乃能证会本真本如之体。真如二字，亦是强名。前五无为，又皆依此假立。此即唯识实性，故皆唯识，决无实我实法也。
┌一、心法眼识、耳识、鼻识、舌识、身识、
│ 意识、末那识、阿赖耶识八 ┐
│ ┌一、遍行作意、触、受、想、思五┐ │
│ │二、别境欲、胜解、念、三么地、慧五│ │
│ │三、善信、精进、惭愧、无贪、无嗔、无痴 │ │
│ │ 轻安、不放逸、行舍、不害十一│ │
│ │四、烦恼贪、嗔、慢、无明、疑、不正见六│ │
│二、│ ┌忿、恨、恼、覆、诳、 ┐ │五│
│心 │ │谄、憍、害、嫉、悭│ ├十│
│所 ┤ │ │ │一│
│有 │五、随烦恼┤无惭、无愧、不信、 ├二十│ │
│法 │ │懈怠、放逸│ │ │
│ │ │ │ │ │
一切法┤ │ │昏沉、掉举、失念、 │ │ ├百法
│ │ └不正知、散乱┘ │ │
│ └六、不定睡眠、恶作、寻伺四┘ │
│三、色法眼、耳、鼻、舌、身、色、声、 │
│ 香、味、触、法处所摄色十一 │
│ ┌得、命根、众同分、异生性、 ┐ │
│四、│无想定、灭尽定、无想报、名身│ │
│心 │ │ │
│不 │句身、文身、生、住、老、无常、 │ │
│相 ┤流转、定异├二十四 │
│应 │ │ │
│行 │相应、势速、次第、时、方、数、 │ │
│ └和合性、不和合性┘ │
│五、无为法虚空无为、择灭无为、非择灭无为、 │
└ 不动灭无为、受想灭无为、真如无为六 ┘